痕量气体分析器（Trace gas analyzer）

PDHID氦离子化检测器在线敏感检测
适用于气体工业，稀有气体，半导体气体的领域进行痕量杂质分析的自动化仪器
是生产线质量控制和*的检测仪器
可任意配选，以适用于多种应用场合
根据用户需要可提供所需的数据采集和数据输出的方式
采用了*的Valco阀、管路系统和检测器

可选件

用户自选的数字或模拟输出
按照用户需要，提供进样系统和校准系统
扩展应用所需部件
电子流量测量和认证
痕量湿度检测
集成的架装组件
特殊合金结构或者Sulfinert® 或Silcosteel®钝化系统
用户自定义的报警系统
自动标定和认证校准
遥控附件

仪器的报价中含有终身的。包括了对应用适应性的确认，文件，现场安装和培训。一旦仪器安装完毕，就可以方便地通过和遥控信息的的。
VICI 的TGA痕量气体分析器是一种即装即用的在线分析仪表，硬件软件齐全，可立即用于分析ppb级各种痕量气体杂质。每台仪器都可以按照用户的具体技术要求，用标准的VICI部件配以分析方法，操作条件和程序文件，组成用户所需要的全套仪器。
所有的VICI TGS的标准应用方式是检测氦中的杂质，同时也可以组合成检测单元和多元气体中的杂质。取样系统和工业级CPU可以装入仪表架，也可以自成独立系统（如图）。标准的设置包括通过OPCserver软件和自动日常维护程序的数据共享。

定型产品
可以选择下列配置完整的定型产品

测量氢气中的PPB级含硫气体
测量CO2中PPB级含硫气体
测量常用气（He, H2, Ar, O2, N2, CH4, C2H6, NH3, CO2, CO）中的杂质
测量稀有气体（He, Ne, Kr, Xe, Rn）中的杂质
测量半导体气体H2, SiH4, SiF4, HBr, CF4, CCl4, NF3, C2F6, C3F8, N2O, C2H2, C2H6, C3H4, PH3, AsH3, SF6, NH3 中的杂质