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产品概述
Model 505 包括两个质量流量控制器(MFC)系统–载气和稀释气。每个渗透腔的载气流量出厂时是固定的。渗透腔的温度使用以控制渗透管校准气的渗透率,保证仪器的精度。渗透管的温度范围是30°C (或者是室温上2°C)到110°C。载气在渗透腔内与校准气混合后进入混合三通。在标准模式中(见下),稀释气是用稀释气的MFC加以控制和测量,然后进入三通的另外一侧。载气和稀释气混合后送到分配三通留到“SPENOUT"和“Overflow"放空。
Model 505每一个渗透腔都有一个导流阀以切换至Zero, Cham 1, Cham 2,或Cham 1 + Cham 2进行选择。稀释气和所选的载气一直都通过混合三通。
产品特点:
§CE-标准;
§温度控制精度:±0.01°C在110°C时;
§供气范围:PPB –高浓度PPM;
§两个独立的渗透腔。
技术优势:
§大尺寸液晶操作屏;
§腔室配置容许产生多种混合标气;
§三个质量流量计控制气路,可容许两种标气混合稀释。
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